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ジェイテクト EXSEVシリーズ

特殊な使用環境・条件に対応するジェイテクトのEXSEVシリーズ

EXSEVシリーズは、さまざまな環境・用途に対応するために通常とは異なる軸受材・潤滑剤を用いたベアリングのシリーズです。
標準軸受材としてステンレスを用い、その他用途に合わせて耐食ステンレス、セラミックス、高速度工具鋼を使用します。
また潤滑剤として、ふっ素系高分子、二硫化モリブデンのコーティングや、樹脂、軟質金属などの固体潤滑剤を用いた軸受と豊富な種類がございます。
これらを用途や目的に合わせて組み合わせることで、クリーン・真空・高温・腐食などの特殊環境での使用や、非磁性、絶縁、高速などの特殊性能を実現しています。
特にセラミック軸受は、ジェイテクトが初めて製品化したもので、確かな実績とノウハウを強みとしています。

製品詳細情報

EXSEVベアリング~セミコンジャパン出展デモ
  • クリーンプロ®-RB (クリーン)(真空)(高温)

    260℃クリーン、真空対応

    ジェイテクトのクリーン環境用ベアリング「クリーンプロ®シリーズ」の高温タイプ。ベアリングの転がり面に耐熱性のあるふっ素高分子被膜をコーティング、耐熱性の向上を実現。260℃の高温クリーン環境に適応する製品です。

    用途:
    半導体製造装置、液晶製造装置、搬送装置、真空機器、スパッタ装置

  • Newクリーンプロ®-PR (クリーン)(真空)

    クリーンルーム、真空機器などに

    ジェイテクトのクリーン環境用ベアリング「クリーンプロ®シリーズ」の標準タイプ。グリースを使用するクリーン環境用ベアリングと比べて、低発じん、低アウトガスを実現。様々なクリーン環境用途に適します。

    用途:
    半導体製造装置、液晶製造装置、真空機器、露光装置、スパッタ装置、真空モーター

  • EXSEV®-EX (クリーン)(真空)(高温)

    グリースの潤滑性をクリーン・真空用途に

    クリーン環境、真空環境に適したふっ素系EXSEV®-EX(グリース)を封入しています。環境規制対応(PFOA 非含有)。また、グリース潤滑ですので、潤滑信頼性に優れています。

    用途:
    半導体製造装置、液晶製造装置、搬送ロボット、真空ポンプ

  • EXSEV®-FA(クリーン)(真空)

    クリーン、真空対応の基本仕様

    クリーン環境・真空対応の基本仕様となるベアリングです。一般的なグリースや、さび止め油を使用しない固体潤滑軸受です。保持器材料に発じんが少ないふっ素樹脂を使用することで、発じん量を低減しています。

    用途:
    半導体製造装置、液晶製造装置、搬送装置、検査装置

  • セラミック軸受(クリーン)(真空)(非磁性)(絶縁)(耐食)

    セラミックを様々な用途に

    通常の軸受鋼を用いたベアリングが使用できないクリーン環境、腐食環境、真空環境、絶縁用途や非磁性用途での使用を想定したベアリング。玉と軌道輪にセラミックス(窒化けい素)を使用することで、通常軸受鋼より高い耐食性能を実現。

    用途:
    半導体製造装置、液晶製造装置、半導体検査装置、合成繊維製造装置、製缶装置、超音波モータ

  • 総玉形セラミック軸受(真空)(非磁性)(絶縁)(耐食)(高温)

    超高温800℃

    800℃の超高温に対応するベアリング。すべての部品をセラミックス(窒化けい素)で構成しており、保持器は用いない構造。高温だけでなく耐食性、非磁性、絶縁性能を有し、多様な環境に適応します。

    用途:
    焼成炉内搬送装置、炉内ファン

  • EXSEV®-MG(真空)(高温)

    超高温真空対応

    350℃までの高温かつ、10-10Paの超高真空に適応するベアリング。ステンレス鋼製の玉にイオンプレーティングした銀によって潤滑する固体潤滑軸受。

    用途:
    半導体製造装置、液晶製造装置、真空蒸着装置、医療機器、真空モーター

  • Kシリーズ総玉形組合せセラミック軸受(クリーン)(真空)

    超薄肉形ベアリングのクリーン仕様

    産業用ロボットに広く使用されているKシリーズ超薄肉形玉軸受をクリーン、真空用途に適応させたベアリング。潤滑はEXSEV®-EX(グリース)(ふっ素系)を標準としています。

    用途:
    半導体製造装置、液晶製造装置

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