エンコーダ内蔵タイプ

分解能：144,000p/回転のエンコーダを内蔵した小型中空DDテーブルです。
中空径はφ10
専用ドライバをお使いいただければ、フルクロ制御も可能です
面ブレ・平行度など、スペック以上のご要求については、お問い合わせいただきたく、お願い申し上げます。

ハーモニックギア内蔵

1/50のハーモニックドライブ社製ギアを内蔵しています
微笑角度位置決めに最適です
面ブレ・平行度など、スペック以上のご要求については、お問い合わせいただきたく、お願い申し上げます
※ハーモニックドライブは、株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ社の登録商標です

高分解能ギア内蔵回転ステージ

テーブル面の平行度や振れ幅等の機械精度を追求した高精度中空θテーブルです
ハーモニックドライブを搭載し、減速比は標準で1/161となります
オプションで、1/51、1/101、1/121、1/201の5種類に変更可能です
計測機器・半導体製造装置・専用加工機等に適しています
※ハーモニックドライブは、株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ社の登録商標です